型號

MTS201

MTS202

MTS203

MTS204

行程（mm）

15

30

50

100

臺面尺寸（mm）

65×65

90×90

90×110

115×180

導(dǎo)軌

V形導(dǎo)軌＋交叉滾柱

絲桿導(dǎo)程(mm）

0.5

1

分辨率（mm）

0.000039

0.000078

極限速度(mm/s)

10

重復(fù)定位精度(mm）

＜0.003

運(yùn)動(dòng)直線度（mm）

0.005

0.01

0.012

0.015

運(yùn)動(dòng)平面度（mm）

0.006

0.012

0.015

0.02

軸向間隙(mm）

＜0.005

步進(jìn)電機(jī)（1.8°）

42步進(jìn)電機(jī)

極限靜轉(zhuǎn)矩(Ncm)

40

50

中心負(fù)載（kg）

10

12

自重（kg）

0.8

1.3

1.5

2.8

備注

應(yīng)用真空環(huán)境中，需單獨(dú)訂貨